特許
J-GLOBAL ID:200903013182319937

試料を調査する装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-572853
公開番号(公開出願番号):特表2003-529760
出願日: 2001年03月29日
公開日(公表日): 2003年10月07日
要約:
【要約】試料を調査するための装置であって、その装置は、放出された電磁放射のビームで試料(27)を照射するためのエミッター(1)、及び試料から反射された放射を検出するための検出器(49)を含み、ここでエミッターの活動部分及び検出器の活動部分の両方として機能する光学的に非線形な部材(15)があり、前記エミッター及び検出器は、光学的に非線形な部材(15)の同じ部分を使用する。電磁放射は、主としてテラヘルツ(THz)周波数範囲にあるように意図される。
請求項(抜粋):
試料を調査する装置であって、 前記装置は、 放出された電磁放射のビームで前記試料を照射するエミッター、及び 前記試料から反射された放射を検出する検出器、を含み、 前記エミッターの活動部分及び前記検出器の活動部分の両方として機能する光学的に非線形な部材があり、 前記エミッター及び検出器は、前記光学的に非線形な部材の同じ領域を使用する装置。
IPC (2件):
G01N 21/35 ,  G01N 21/21
FI (2件):
G01N 21/35 Z ,  G01N 21/21 Z
Fターム (24件):
2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059BB13 ,  2G059CC16 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059FF09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM08

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