特許

J-GLOBAL ID：200903013195927391

研磨組成物及び研磨方法

発明者： 片鎌 利男 ,  大関 紀夫 ,  西浜 幸男
出願人/特許権者： 奥野製薬工業株式会社
代理人 (1件)： 三枝 英二 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-174058
公開番号（公開出願番号）：特開平8-041443
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：

【要約】【構成】 平均粒径が0.1〜10μmの研磨材を2〜30重量部、アルキル硫酸塩及びポリオキシエチレンモノ脂肪酸エステルからなる群から選ばれる少なくとも一種を1〜20重量部含む研磨組成物及び上記研磨組成物を付着させたバフを回転させながら、被研磨物の表面を研磨する研磨方法。【効果】 本発明の研磨組成物及び研磨方法は、スクラッチのない鏡面研磨において、研磨速度が速く、しかも、研磨剤の劣化を遅くすることができる。

請求項（抜粋）：

平均粒径が0.1〜10μmの研磨材を2〜30重量部、アルキル硫酸塩及びポリオキシエチレンモノ脂肪酸エステルからなる群から選ばれる少なくとも一種を1〜20重量部含む研磨組成物。

IPC (3件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00