特許

J-GLOBAL ID：200903013199342606

ポンプ制御機構およびそれを用いた基板処理装置ならびにポンプ制御方法

発明者： 村岡 祐介
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-167170
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002187
出願日： 1998年06月15日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 往復動ポンプの流量を正確に制御することができるポンプ制御機構およびそれを用いた基板処理装置ならびにポンプ制御方法を提供する。【解決手段】 エンドセンサ75,76によるフランジ63a,64aの検出信号をもとにストローク時間検出部52はそれら検出信号の時間差を計測ストローク時間とする。駆動エア圧演算部53では計測ストローク時間と予め設定された目標ストローク時間とが一致するような指令駆動エア圧Piを算出し、駆動エア圧調整部54はそれに応じた指令電圧の信号を圧力レギュレータ21に送信する。これを常時行い、計測ストローク時間Tmが一定になるようにフィードバック制御を行う。1ストローク当りのベローズ63,64の容積変化は一定で計測ストローク時間も一定になるので処理液の流量は一定になる。

請求項（抜粋）：

往復動作により流体を送出する往復動ポンプと、前記往復動ポンプを駆動する駆動手段と、前記往復動ポンプの往復動作のうちの所定距離の移動時間を計測する移動時間計測手段と、前記移動時間の計測結果に基づいて前記駆動手段を制御することにより、前記往復動ポンプによる流体の送出流量を制御する制御手段と、を備えることを特徴とするポンプ制御機構。

IPC (4件)：

F04B 49/06 321 ,  F04B 13/00 ,  F04B 43/08 ,  H01L 21/00

FI (4件)：

F04B 49/06 321 Z ,  F04B 13/00 A ,  F04B 43/08 A ,  H01L 21/00

Fターム (32件)：

3H045AA02 ,  3H045AA08 ,  3H045AA22 ,  3H045BA19 ,  3H045DA10 ,  3H045EA12 ,  3H045EA13 ,  3H045EA26 ,  3H045EA42 ,  3H075AA09 ,  3H075BB04 ,  3H075BB14 ,  3H075BB16 ,  3H075CC30 ,  3H075CC40 ,  3H075DA05 ,  3H075DB10 ,  3H075DB45 ,  3H075EE04 ,  3H075EE08 ,  3H075EE12 ,  3H075EE18 ,  3H077AA08 ,  3H077BB10 ,  3H077CC03 ,  3H077CC07 ,  3H077CC17 ,  3H077DD14 ,  3H077EE16 ,  3H077FF03 ,  3H077FF45 ,  3H077FF55