特許
J-GLOBAL ID：200903013201185459

窒化珪素質焼結体の製造方法

発明者：
織田 武廣

織田 武廣 について

, 
東 裕二

東 裕二 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-077847
公開番号（公開出願番号）：特開平9-268072
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【課題】Siの窒化反応を容易に制御できるとともに、優れた強度を有する窒化珪素質焼結体を寸法精度よく作製することのできる方法を提供する。【解決手段】α化率が50%以上の窒化珪素(Si3 N4 )粉末と、平均粒径2.5〜30μmの珪素(Si)粉末とを、Si/(Si3 N4 +Si)重量比が0.95〜0.2の割合からなる主成分に対して、焼結助剤として周期律表第3a族酸化物粉末の1種以上を1〜7モル%と、酸化アルミニウム粉末を1〜13モル%で添加してなる成形体を、窒素を含む雰囲気中にて1000〜1500°Cで窒化し、その後1700〜2000°Cの非酸化性雰囲気中で焼成し、さらには成形体中に、窒化促進剤として、W、Mn、Fe、Cuの酸化物、炭化物、珪化物のうちの1種以上を全量中、0.1〜5重量%の割合で含める。
請求項（抜粋）：
α化率が50%以上の窒化珪素(Si3 N4 )粉末と、平均粒径2.5〜30μmの珪素(Si)粉末とを、Si/(Si3 N4 +Si)重量比が0.95〜0.2の割合からなる主成分に対して、焼結助剤として周期律表第3a族酸化物粉末の1種以上を1〜7モル%と、酸化アルミニウム粉末を1〜13モル%で添加してなる成形体を、窒素を含む雰囲気中にて1000〜1500°Cで窒化し、その後1700〜2000°Cの非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。
IPC (2件)：
C04B 35/591 ,  C04B 35/64
FI (2件)：
C04B 35/58 102 V ,  C04B 35/64 C
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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