特許

J-GLOBAL ID：200903013201427835

流量制御器モニタ方式

発明者： ポール ナットソン
出願人/特許権者： ソニー エレクトロニクス インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-151128
公開番号（公開出願番号）：特開平7-078296
出願日： 1994年07月01日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】【構成】 各々が複数のMFC10A〜10Fの1つに対応し、MFC制御電圧に対応する電圧信号を与える複数のインタフェース20A〜20Fと、インタフェースから上記電圧信号を伝送する複数の電線40と、該電線に結合されMFCの1つに対応する上記電圧信号を選択する位置スイッチ60と、該スイッチに結合されMFCの1つに対応する上記電圧信号の値を可視表示する複数の表示手段70A,70Bとを設ける。【効果】 オペレータは、複数のMFC動作電圧を同時に、MFCを用いるシステムの他の動作を妨げることなくモニタ又は校正することができる。

請求項（抜粋）：

複数の流量制御器(MFC)をモニタする装置であって、各々が複数のMFCの1つに対応し、該MFCを制御する制御電圧に対応する電圧信号を与える複数のインタフェース手段と、該インタフェース手段から上記電圧信号を伝送するための複数の電線と、上記複数の電線に結合され、上記MFCの1つに対応する電圧信号を選択するためのスイッチング手段と、上記スイッチング手段に結合され、上記MFCの1つに対応する上記電圧信号の値を可視表示するための複数の表示手段とを具えた流量制御器モニタ装置。

IPC (5件)：

G08C 19/30 ,  G01D 7/00 ,  G01F 1/00 ,  G01F 15/06 ,  G05D 7/00