特許

J-GLOBAL ID：200903013204744645

可撓性長尺基体に成膜するための補助具

発明者： 森野 弘 ,  山崎 嘉明 ,  西山 哲 ,  江部 明憲 ,  緒方 潔
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-056447
公開番号（公開出願番号）：特開平7-268629
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：

【要約】【目的】 可撓性を有するチューブ、紐状物等の長尺基体の外周表面に物理的蒸着法によるときでも均一に膜形成を行える可撓性長尺基体に成膜するための補助具を提供する。【構成】 成膜装置9内の基台フレーム1に回転可能に支持された支持部材2に可撓性長尺基体繰り出し・巻き取り用の一対のリール6、8及び案内滑車4を搭載し、一方のリール6(又は8)に巻いた長尺基体Aを該リールから滑車4に案内させて他方のリール8(又は6)に接続し、支持部材2を回転させて基体Aをリール6(又は8)からリール8(又は6)へ移動させつつ支持部材2の回転中心線α周りに回転させ、それによって基体Aの外周表面に均一な膜を形成する補助具10。

請求項（抜粋）：

成膜装置の真空容器内に設置される基台フレームと、前記基台フレームに回転可能に支持された支持部材と、前記支持部材に搭載された可撓性長尺基体繰り出し・巻き取り用の一対のリールと、前記支持部材の回転に少なくとも基体巻き取りに使用する前記リールを連動回転させる連動機構と、前記一対のリール間に走行せしめられる前記長尺基体を案内するための前記支持部材に搭載された案内滑車とを含む可撓性長尺基体に成膜するための補助具。