特許
J-GLOBAL ID：200903013205325182
検査測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-280570
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113762
出願日： 1993年10月14日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【目的】 被検査物の分類作業を正確且つ迅速に行うことができるので、検査・測定の効率を向上させる。【構成】 CCDカメラ1で得たウエハ3の検査画像と、この検査画像に関する検査情報とをホストコンピュータ7の光ディスクに記録し、その光ディスクに記録したた検査情報の一部を指定することにより、検査情報に対応する検査画像を検索して、CRTモニタ8上に表示させるようにした。CRTモニタ8に現在検査中の検査画像と光ディスクから読み出した検査画像とを表示して対比観察し、分類作業を行うようにしたので、ウエハ3の分類作業を正確且つ迅速に行うことができる。
請求項（抜粋）：
被検査物を撮像する撮像手段と、この撮像手段で得た検査画像及びこの検査画像に関する検査情報を記録する記録手段と、この記録手段に記録された前記検査画像を表示する表示手段と、前記記録手段に記録された前記検査情報の一部を指定することにより、前記検査情報に対応する前記検査画像を検索して、前記表示手段上に表示させる検査画像検索手段とを備えていることを特徴とする検査測定装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/00
, G06F 17/30
, G06T 1/00
, G06T 7/00
G06F 15/40 370 B
, G06F 15/62 P
, G06F 15/62 400
