特許
J-GLOBAL ID：200903013221235380
固体撮像素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土屋 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-304937
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132515
出願日： 1992年10月16日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 暗電流もスメアも少なくして、高品質の画像を得る。【構成】 遮光膜としてのAl膜22がP-SiO膜25に覆われており、段差部26における光27の屈折による光路ずれが無視できる程度にまで膜厚の薄いP-SiN膜24がP-SiO膜25上に積層されて、2層構造のパッシベーション膜が形成されている。P-SiO膜25は、屈折率が低いので、段差部26へ入射した光27を垂直転送レジスタ14側へ屈折させるレンズ作用が小さく、スメアが少ない。しかも、P-SiN膜24は水素を多量に含んでおり、この水素が界面準位を減らすので、暗電流も少ない。
請求項（抜粋）：
水素を含む第1の膜とこの第1の膜よりも屈折率の低い第2の膜との2層構造のパッシベーション膜を有する固体撮像素子。
IPC (3件)：
H01L 27/148
, H01L 21/318
, H04N 5/335
