特許

J-GLOBAL ID：200903013222337704

ガスセンサ

発明者： 近藤 考司
出願人/特許権者： アラコ株式会社
代理人 (1件)： 長谷 照一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-178918
公開番号（公開出願番号）：特開2002-372487
出願日： 2001年06月13日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】 圧電振動体を使用したガスセンサにおいて、測定精度を高め、また製造コストを低下させる。【解決手段】 両面に電極11を設けた板状の圧電振動体10の外側を内部にガスを保持するガス保持層15により覆い、ガス保持層の外側をガスを透過させるガス透過膜16によりさらに覆うことによりガスセンサを形成し、圧電振動体の共振周波数の変化を検出することにより、それが置かれた雰囲気中のガスの濃度を検出する。ガス透過膜は水素を選択的に透過させる水素透過膜とするのがよい。また、ガス保持層は絶縁材料よりなるものとするのがよい。

請求項（抜粋）：

両面に電極を設けた板状の圧電振動体の外側を内部にガスを保持するガス保持層により覆い、前記ガス保持層の外側を前記ガスを透過させるガス透過膜によりさらに覆ってなり、前記圧電振動体の共振周波数の変化を検出することにより、前記圧電振動体が置かれた雰囲気中の前記ガスの濃度を検出することを特徴とするガスセンサ。