特許
J-GLOBAL ID:200903013226694560
高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
則近 憲佑
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-234539
公開番号(公開出願番号):特開平7-149568
出願日: 1987年05月08日
公開日(公表日): 1995年06月13日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、緻密で高熱伝導性を有する窒化アルミニウム単相からなる窒化アルミニウム焼結体の製造方法を提供する。【構成】 本発明は、a)不純物酸素量が7重量%以下であり、平均粒径が0.05〜5μmである窒化アルミニウム粉末と、希土類元素の重量換算で0.01〜15重量%の希土類元素化合物とを混合したのち成形した成形体、または希土類元素含有量が0.01〜15重量%で、酸素含有量が0.01〜20重量%であり、AlNを主相とし(希土類元素)-Al-O化合物相および/または(希土類元素)-O化合物相を含む焼結体を、b)還元雰囲気中で、c)1550〜2050°Cで、4時間以上、減圧下を含む雰囲気圧下で焼成することを特徴とする。
請求項(抜粋):
a)不純物酸素量が7重量%以下であり、平均粒径が0.05〜5μmである窒化アルミニウム粉末と、希土類元素の重量換算で0.01〜15重量%の希土類元素化合物とを混合したのち成形した成形体、または希土類元素含有量が0.01〜15重量%で、酸素含有量が0.01〜20重量%であり、AlNを主相とし(希土類元素)-Al-O化合物および/または(希土類元素)-O化合物相を含む焼結体を、b)還元雰囲気中で、c)1550〜2050°Cで、4時間以上、減圧下を含む雰囲気圧下で焼成することを特徴とした高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
IPC (2件):
FI (3件):
C04B 35/58 104 B
, C04B 35/58 104 U
, C04B 35/64 A
引用特許:
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