特許

J-GLOBAL ID：200903013234393391

測定プローブ

発明者： 松尾 圭造
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182818
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033237
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】被測定面の多面的な評価に適した測定デ-タを効率的に検出する。【構成】本測定プローブは、異なる測定原理を採用した2つの検出部、すなわち非点収差法を採用した光学式検出部100と、静電容量型変位計と同様な構成の静電容量型検出部200とを兼備する。静電容量型検出部200のセンサ面201には、2つの静電容量検出用の電極部202a,202bが同心円状に形成され、その中心を通るように、適当な径を有する穴201aが空けられている。そして、測定時に、光学式検出部100の測定光は、この穴201aを通過することにより、静電容量型検出部200の測定範囲Cに含まれる、被測定物Aの表面の領域Dを照明する。従って、本測定プローブを使用すれば、一回の走査で、光学式検出部100により被測定物Aの表面粗さが測定されると共に、静電容量型検出部200により被測定物Aの表面に生じたうねり等の形状が測定される。

請求項（抜粋）：

被測定物の表面の位置を測定する測定プローブであって、前記被測定物の表面に測定光を照射すると共に、前記被測定物の表面で反射した測定光に応じて前記被測定物の表面の位置を検出する光学式検出部と、2つの電極部が形成されたセンサ面を有し、前記2つの電極部と前記被測定物の表面との間の静電容量に応じて前記被測定物の表面の位置を検出する静電容量型検出部とを備え、前記静電容量型検出部のセンサ面には、前記2つの電極部の中心部を貫通する貫通穴が形成され、前記光学式検出部と前記静電容量型検出部は、前記被測定物の表面に照射される測定光と前記被測定物の表面で反射した測定光が前記静電容量型検出部のセンサ面の貫通穴を通過するように配置されていることを特徴とする測定プローブ。

IPC (3件)：

G01B 11/30 102 ,  G01B 7/00 ,  G01B 21/00

FI (3件)：

G01B 11/30 102 Z ,  G01B 7/00 K ,  G01B 21/00 B