特許
J-GLOBAL ID：200903013240794136
クリーンユニット付無人搬送車
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-343758
公開番号（公開出願番号）：特開平10-181871
出願日： 1996年12月24日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】【課題】 複数のクリーン度のクリーンルーム間を移動できる無人搬送車5において、クリーン度の悪いクリーンルームを移動中の開閉扉とクリーンユニットの隙間からのパーティクルの侵入を減らす。【解決手段】 無人搬送車5に受光素子からなる第1の読取手段1を設け、クリーンルームの出入口近傍に反射板からなる第1の表示手段3でクリーン度が変わることを表示し、クリーン度が変わることを検出したらクリーンユニット6のファン7の速度を落とすことで、クリーン度の低いクリーンルームを移動中の開閉扉の隙間からのパーティクルの侵入を減らすことができる。
請求項（抜粋）：
クリーンユニットが積載され、クリーン度が異なる複数のクリーンルーム間を走行する無人搬送車において、無人搬送車に設けられた識別手段により移動時の周囲のクリーン度の違いを識別し、その識別結果に応じてクリーンユニット内の空気を循環させるファンの速度を可変させるファン速度の制御方法。
IPC (4件)：
B65G 49/00
, B65G 49/07
, H01L 21/02
, H01L 21/68
B65G 49/00 A
, B65G 49/07 Z
, H01L 21/02 D
, H01L 21/68 A
