特許
J-GLOBAL ID：200903013246550131
加温純水リサイクルシステム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-133730
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349805
出願日： 1993年06月04日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 純水洗浄システムに関し、加温純水をリサイクルするシステム構成を実用化することを目的とする。【構成】 洗浄装置が被処理物の洗浄を行なう内槽の外側に外槽を備え、ポンプにより内槽底部に供給した加温純水を外槽にオーバーフローさせて回収する機構と、回収した洗浄水をフィルタで濾過した後、洗浄過程で消耗した純水の不足分を補給する機構と、補給の終わった洗浄水を必要とする温度にまで加熱する機構と、外槽に赤外線ヒータを、内槽に所定の間隔をおいて積層したシリコンウエハを備え、コック切り換えによりシリコンウエハの再生と純水の精製を順次に行なう機構とから加温純水リサイクルシステムを構成する。
請求項（抜粋）：
再生させた加温純水をコック切り換えにより連続的に供給して被処理物の洗浄を行なう洗浄装置が、被処理物の洗浄を行なう内槽の外側に外槽を備え、内槽底部に供給した加温純水を外槽にオーバーフローさせて回収する機構と、回収した洗浄水をポンプで加圧しフィルタで濾過した後、洗浄過程で消耗した純水の不足分を補給する機構と、補給の終わった洗浄水を必要とする温度にまで加熱する機構と、外槽に赤外線ヒータを、内槽に所定の間隔をおいて積層したシリコンウエハを備え、コック切り換えにより該シリコンウエハの再生と純水の精製を順次に行なう機構と、前記コックの切り換えと加温水の温度調節と水量の調節を行なう制御系と、からなることを特徴とする加温純水リサイクルシステム。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, C02F 1/00
