特許
J-GLOBAL ID：200903013250579357
マイクロ波プラズマ発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-030249
公開番号（公開出願番号）：特開平9-223597
出願日： 1996年02月19日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】従来は導波管内で発生する放電によって真空窓が破壊されることを作業者の経験や装置の出力に条件を設けることによって防止していた。【解決手段】マイクロ波発生源からのマイクロ波は導波管4に入射され、真空窓8を通過して導波管5、6を通って放電容器1内へ導かれる。放電容器1の外周には永久磁石9、10が設けられ、所定の電圧が印加されている引き出し電極2、3によって放電容器1外部にイオンを出射している。導波管5には導波管5内の状態を監視可能な突起状の覗き窓13が設けられ、その先端にはガラス窓16が設けられ、ガラス窓16には取り付け具17を介して光ファイバ14が接続されている。光ファイバ14からの信号は光検出器15に出力され、光検出器15からの信号はマイクロ波発生源に送られ、マイクロ波発生源の出力を制御している。光検出器15により導波管5内の放電を監視することで真空窓8の破壊を防いでいる。
請求項（抜粋）：
真空雰囲気の放電容器内へ導波管を通って導入されるマイクロ波を用いて、該放電容器内でプラズマ放電を発生させるマイクロ波プラズマ発生装置において、前記導波管内で発生する放電を検出する検出手段を設け、前記検出手段からの信号によってマイクロ波を生成するマイクロ波発生源の出力を制御することを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。
IPC (5件)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, G21B 1/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H05H 1/46 B
, C23C 16/50
, G21B 1/00 U
, H01L 21/205
, H01L 21/302 A
