特許
J-GLOBAL ID：200903013254227900
透明薄板測定用干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-196072
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021606
出願日： 1995年07月07日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【目的】透明薄板の表面形状を測定する干渉計において、測定光の可干渉距離を透明薄板の両面間の光学的距離の2倍に相当する長さより小とするとともに、測定光の一部を迂回させるパスマッチ光学系を設けることにより余分な干渉縞の発生を阻止する。【解決手段】光源1からの測定光が、被検体12の両面12a,12b間の光学的距離の2倍に相当する距離より小となる可干渉距離を有する様に設定する。また、コリメータレンズ2とコンデンサレンズ8との間の平行光線束領域内に、2つのハーフミラー4,5と2つの全反射ミラー6,7からなる、測定光の一部を迂回させるパスマッチ光学系を挿入する。
請求項（抜粋）：
光源から出力された光の基準面からの反射光と、この基準面を透過した該光の、透明薄板の被検面からの反射光との光干渉により生じる干渉縞に基づき該被検面の表面形状を測定する透明薄板測定用干渉計において、前記光源から出力された光の可干渉距離Lcを前記透明薄板の厚み方向の光学距離ntの2倍よりも小さく設定し、前記透明薄板に向かう前記光のうちの一部を分離して、その余の光よりも、前記基準面と前記被検面との距離L(ただし、L>>nt)の2倍に相当する距離だけ大きい光路長を有するように迂回させた後、該その余の光と合成させるパスマッチ光学系を備えてなることを特徴とする透明薄板測定用干渉計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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