特許
J-GLOBAL ID：200903013255068792
マスク用の防塵カバー
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-014932
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230558
出願日： 1993年02月01日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【構成】 透明薄膜体の少なくとも一方の面に、低屈折率層からなる1層の反射防止層または高屈折率層の上に低屈折率層を積層した2層の反射防止層が形成されたマスク用防塵カバーにおいて、反射防止層を形成する低屈折率層が下記式(1)で表されるポリマーであるマスク用防塵カバー(ペリクル)。【化1】(ここで、Rfoはパーフルオロエーテルユニットを表す。)【効果】 本発明のペリクルは、透明性が高く、かつ溶解性、接着性に優れる低屈折率の含フッ素ポリマーを反射防止層の低屈折率成分に使用した、光線透過率が高く、さらには耐エアブロー性、操作性にも優れるペリクルである。
請求項（抜粋）：
透明薄膜体の少なくとも一方の面に、低屈折率層からなる1層の反射防止層又は高屈折率層の上に低屈折率層を積層した2層の反射防止層が形成されたマスク用防塵カバーにおいて、上記反射防止層を形成する低屈折率層が、側鎖にカルボニル含有基を有するアモルファスパーフルオロポリマーからなることを特徴とするマスク用防塵カバー。
IPC (4件)：
G03F 1/14
, B32B 27/30
, C08G 73/06 NTM
, H01L 21/027
