特許

J-GLOBAL ID：200903013258051548

高出力ビーム発生器

発明者： ウルリッヒ コーゲルシャッツ
出願人/特許権者： アセア ブラウン ボヴエリ アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-327819
公開番号（公開出願番号）：特開平5-266863
出願日： 1992年12月08日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 効率が高く、製造が経済的であり、平坦な基板を均質に照射することのできる、UVビームまたはVUVビーム用の高出力ビーム発生器を提供する。【構成】 ビーム発生器の照射特性を制御するために、放電の動作電圧および/または実効誘電容量を局所的に変化するために手段12が設けられており、第2の電極3’と放電室7との結合は、誘電体の誘電率よりも少なくとも係数10以上高い誘電率を有する液体を介して行われ、該液体は同時にビーム発生器の冷却にも用いられる。

請求項（抜粋）：

紫外線のための高出力ビーム発生器であって、放電条件下でビームを放射する充填ガスの充填された放電室(7)と、該放電室の壁を形成する外部誘電体(1)および内部誘電体(2)と、外部誘電体の外面に設けられた第1の電極(4)と、内部誘電体(2)の、放電室(7)反対側表面に設けられた第2の電極(3;3’)と、第1(4)および第2(3;3’)の電極と接続され、放電部分に給電するための交流源(11)とを有する高出力ビーム発生器において、ビーム発生器の照射特性を制御するために、放電の動作電圧(UB)および/または実効誘電容量(CD)を局所的に変化するための手段(12;12a...)が設けられており、第2の電極(3;3’)と放電室(7)との結合は、誘電体の誘電率よりも少なくとも係数10以上高い誘電率を有する液体を介して行われ、該液体は同時にビーム発生器の冷却にも用いられることを特徴とする高出力ビーム発生器。