特許
J-GLOBAL ID：200903013262061400
光透過膜の膜厚測定方法および膜厚測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-125043
公開番号（公開出願番号）：特開2000-314612
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：
【要約】【課題】 物体表面に形成された被膜の1次元または2次元的な膜厚を、精度良く、能率的に測定することができる膜厚の測定技術を提案する。【解決手段】 測定対象物表面の被膜上に線状に光を照射する光源と、測定対象物表面の被膜による干渉光を正反射方向で受光して線状の入射光をそのライン上での位置情報を保持しながら同時に分光する分光器と、各位置で分光されたスペクトルを記憶してそのスペクトル波形とあらかじめ記憶しておいた光学定数とから測定対象物表面の測定ライン上の膜厚を計算する膜厚計算器とを具えた装置により、1ライン上の膜厚を同時に測定する。また、この操作をライン垂直方向に移動しながら行う。
請求項（抜粋）：
表面に被膜を有する測定対象物の被膜膜厚を測定するに当たり、測定対象物の表面に線状の光を照射し、その反射光を1ライン上で同時に分光できる分光器を用いることにより、1ライン上の膜厚を同時に測定することを特徴とする、光透過膜の膜厚測定方法。
Fターム (22件)：
2F065AA30
, 2F065AA55
, 2F065BB22
, 2F065CC17
, 2F065DD03
, 2F065DD04
, 2F065DD06
, 2F065FF51
, 2F065GG02
, 2F065GG16
, 2F065HH05
, 2F065HH12
, 2F065JJ00
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL02
, 2F065LL28
, 2F065MM02
, 2F065PP12
, 2F065QQ13
, 2F065QQ34
, 2F065SS13
