微小部分の結晶製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小沢信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-226051
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066313
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】低温で高品質結晶性のレーザ光導波路を形成する微小部分の結晶製造法を提供することにある。【構成】母材2の単結晶上に導波路材料3のアモルファス薄膜を形成し、母材結晶(2)上の端部に低融点溶媒4を少量設置し、低融点溶媒4を微小径のレーザビーム5で溶融して母材結晶2及び導波路材料3の不純物を溶出させ、レーザビーム5を移動させて低融点溶媒4を移動させ低温で結晶を成長させる。

請求項（抜粋）：

レーザ光の導波路を形成する微小部分の結晶製造法において、母材(2)の単結晶上に導波路材料(3)のアモルファス薄膜を形成し、該導波路材料(3)のアモルファス薄膜を含む母材(2)結晶上の端部に低融点溶媒(4)を少量設置する段階と、該低融点溶媒(4)を微小径のレーザビーム(5)で溶融して母材(2)結晶及び導波路材料(3)の不純物を溶出させる段階と、前記レーザビーム(5)を移動させて低融点溶媒(4)を移動させる段階とから成ることを特徴とする微小部分の結晶製造法。

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