特許
J-GLOBAL ID:200903013274874490
蛍光試料の分光特性測定装置及びその測定方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小谷 悦司 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-031815
公開番号(公開出願番号):特開2000-230861
出願日: 1999年02月09日
公開日(公表日): 2000年08月22日
要約:
【要約】【課題】 照明光の相対紫外強度の変化を補正することにより、この変化に起因する誤差を低減して測定精度を向上する。【解決手段】 演算手段85により、分光手段5,6で得られたデータから、蛍光試料1を第1、第2の照明手段3,4により照明したときの第1、第2の全分光放射輝度率Bt1(λ),Bt2(λ)を算出し、第1の全分光放射輝度率Bt1(λ)を補正した補正全分光放射輝度率Bt10(λ)を求める。一方、標準蛍光試料13を用いて重み係数A(λ)を算出してRAM82に記憶させる。そして、重み係数A(λ)を用いて、補正全分光放射輝度率Bt10(λ)及び第2の全分光放射輝度率Bt2(λ)を線形結合することによって、蛍光試料1の全分光放射輝度率Bt(λ)を算出する。
請求項(抜粋):
紫外域を含む波長域の光束を出力する第1の照明手段と、所定の遮断波長より長い波長域の光束を出力する第2の照明手段と、測定位置に配置された試料を上記第1、第2の照明手段によって照明したときの当該試料からの放射光の分光強度分布を測定する試料用分光手段と、上記測定位置に配置された試料を上記第1、第2の照明手段によって照明したときの照明光に近似する参照光の分光強度分布を測定する参照用分光手段と、予め所定の標準蛍光試料を上記測定位置に配置した状態で上記第1、第2の照明手段によって当該標準蛍光試料を照明したときの、照明光に近似する参照光の分光強度分布である第1、第2の標準参照光分光強度分布及び上記標準蛍光試料からの放射光の分光強度分布である第1、第2の標準放射光分光強度分布を用いて求められた重み係数を記憶するとともに、上記第1の標準参照光分光強度分布を記憶する記憶手段と、被測定蛍光試料を上記測定位置に配置した状態で上記第1の照明手段によって当該被測定蛍光試料を照明し、そのときの照明光に近似する参照光の分光強度分布である第1の測定参照光分光強度分布及び上記被測定蛍光試料からの放射光の分光強度分布である第1の測定放射光分光強度分布を測定し、また上記第2の照明手段によって上記被測定蛍光試料を照明し、そのときの照明光に近似する参照光の分光強度分布である第2の測定参照光分光強度分布及び上記被測定蛍光試料からの放射光の分光強度分布である第2の測定放射光分光強度分布を測定する測定制御手段と、上記第1の測定放射光分光強度分布及び上記第1の測定参照光分光強度分布を用いて上記被測定蛍光試料の第1の全分光放射輝度率を求め、また上記第2の測定放射光分光強度分布及び上記第2の測定参照光分光強度分布を用いて上記被測定蛍光試料の第2の全分光放射輝度率を求める第1の演算手段と、下記数1に従って上記被測定蛍光試料の第1の全分光放射輝度率を補正した補正全分光放射輝度率を求める第2の演算手段と、下記数2に従って上記被測定蛍光試料の全分光放射輝度率を求める第3の演算手段とを備えたことを特徴とする蛍光試料の分光特性測定装置。【数1】Bt01(λ)=Bt1(λ)+{Bt1(λ)-Bt2(λ)}・{k(λ)/k0(λ)-1}ここに、Bt01(λ):上記被測定蛍光試料の補正全分光放射輝度率Bt1(λ):上記被測定蛍光試料の第1の全分光放射輝度率Bt2(λ):上記被測定蛍光試料の第2の全分光放射輝度率k(λ):上記第1の測定参照光分光強度分布の可視域部分を紫外域部分の積分値で相対化した相対紫外強度分布k0(λ):上記第1の標準参照光分光強度分布の可視域部分を紫外域部分の積分値で相対化した相対紫外強度分布【数2】Bt(λ)=α・Bt01(λ)+(1-α)・Bt2(λ)ここに、 Bt(λ):上記被測定蛍光試料の全分光放射輝度率α:上記重み係数Bt01(λ):上記被測定蛍光試料の補正全分光放射輝度率Bt2(λ):上記被測定蛍光試料の第2の全分光放射輝度率
IPC (3件):
G01J 3/443
, G01J 3/02
, G01N 21/64
FI (3件):
G01J 3/443
, G01J 3/02 C
, G01N 21/64 Z
Fターム (21件):
2G020AA05
, 2G020CA17
, 2G020CB08
, 2G020CB32
, 2G020CB43
, 2G020CC49
, 2G020CD04
, 2G020CD52
, 2G043CA07
, 2G043EA01
, 2G043FA07
, 2G043GA02
, 2G043GB18
, 2G043GB19
, 2G043HA04
, 2G043HA05
, 2G043JA03
, 2G043KA03
, 2G043MA11
, 2G043NA01
, 2G043NA06
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