特許
J-GLOBAL ID:200903013284337611
厚み滑り水晶片の周波数測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-213036
公開番号(公開出願番号):特開2001-041988
出願日: 1999年07月28日
公開日(公表日): 2001年02月16日
要約:
【要約】【課題】 厚み滑り水晶片の空隙式周波数測定装置の測定を正確にする。【解決手段】厚み滑り水晶片の周波数を空隙式で測定する周波数測定装置において、厚み滑り水晶片の外縁部を押さえながら周波数を測定する厚み滑り水晶片の周波数測定装置とする。
請求項(抜粋):
厚み滑り水晶片の周波数を空隙式で測定する周波数測定装置において、厚み滑り水晶片の外縁部を押さえながら周波数を測定することを特徴とする厚み滑り水晶片の周波数測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01R 29/22 A
, G01R 23/00
Fターム (3件):
2G029AA02
, 2G029AB00
, 2G029AH00
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