特許
J-GLOBAL ID:200903013287099266
薄膜磁気ヘッドとその製造方法及び磁気記録再生装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-174993
公開番号(公開出願番号):特開2001-006110
出願日: 1999年06月22日
公開日(公表日): 2001年01月12日
要約:
【要約】【課題】 高密度な記録再生を行う磁気記録再生装置に使用される薄膜磁気ヘッドにおいて、特に高周波領域でも優れた記録特性を持つ薄膜磁気ヘッドとその製造方法及びその薄膜磁気ヘッドを用いた磁気記録再生装置を提供する。【解決手段】 セラミック基板上に記録及び再生用の薄膜磁気ヘッド素子が形成され、一方、シリコン基板上には集積電子回路が形成され、それら薄膜磁気ヘッド素子を有したセラミック基板と集積電子回路を有したシリコン基板とが一体化され、前記薄膜磁気ヘッド素子と電気的に接続されて薄膜磁気ヘッドスライダ(浮上または変位支持体)を構成するものである。
請求項(抜粋):
セラミック基板上に記録及び再生用の薄膜磁気ヘッド素子が積層成膜形成されたヘッドブロックと、シリコン基板上に形成された集積電子回路を有する回路ブロックとを有し、前記ヘッドブロックと前記回路ブロックとを接合一体化形成をし、前記ヘッドブロックにエアーベアリング形状を形成し、前記ヘッドブロックに形成された前記薄膜磁気ヘッド素子と前記回路ブロックに形成された前記集積電子回路とが電気的に接続されて、薄膜磁気ヘッドスライダを構成することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
IPC (3件):
G11B 5/127
, G11B 5/31
, G11B 5/60
FI (3件):
G11B 5/127 R
, G11B 5/31 M
, G11B 5/60 W
Fターム (18件):
5D033BA39
, 5D033BB14
, 5D033BB43
, 5D033DA01
, 5D033DA31
, 5D042NA02
, 5D042PA09
, 5D042RA04
, 5D042TA05
, 5D042TA09
, 5D093AA05
, 5D093AC08
, 5D093AD12
, 5D093BD01
, 5D093EC07
, 5D093FA12
, 5D093FA23
, 5D093FA26
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