特許

J-GLOBAL ID：200903013291804357

複屈折測定装置及び複屈折測定方法

発明者： 森田 展弘 ,  金子 豊
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290698
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132940
出願日： 1997年10月23日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 高価な受光素子を用いずに、被検物の全面にわたって高精度に複屈折を測定できるようにする。【解決手段】 基本的には、回転検光子法に準じて、透明な被検物1を透過した透過光をその偏光状態を変化させる偏光素子14に入射させ、この偏光素子14を回転させながら受光素子15で受光検出させることにより被検物1の複屈折を算出するが、被検物1に照射する照射光の照射位置を走査手段8により変化させながら、その照射位置に応じて変位手段21により偏光素子14と受光素子15とを一体で移動調整し、各位置で複屈折の算出を行なうことで、被検物1の全面にわたる複屈折の測定が可能となる。

請求項（抜粋）：

所定の偏光状態で光を透明な被検物に照射させる光源を含む照射光学系と、この照射光学系による照射光の前記被検物上での照射位置を変化させる走査手段と、前記被検物からの透過光の偏光状態を変化させる偏光素子と、この偏光素子を前記透過光の進行方向周りに回転させる回転手段と、この回転手段による前記偏光素子の回転角度を検知する回転角検知手段と、前記偏光素子を透過した光を受光する受光素子と、前記偏光素子と前記受光素子とを一体としてその位置を前記被検物からの透過光の位置に応じて移動調整する変位手段と、前記回転角検知手段により検知された回転角度と前記受光素子により受光検出される受光出力とに基づき前記被検物の複屈折を算出する演算手段と、を備えることを特徴とする複屈折測定装置。