特許

J-GLOBAL ID：200903013294499644

飛散防止カップの洗浄方法及び塗布装置

発明者： 左成 卓也 ,  真田 雅和
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-071419
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270318
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ性水溶液を洗浄液として供給することにより、洗浄時間を短縮しつつも廃液処理が容易にできる。【解決手段】 スピンチャック1により支持された基板に対して塗布液供給ノズルから反射防止膜剤を供給した際に、スピンチャック1の周囲に配設された飛散防止カップ4の内面に付着した反射防止膜剤Cを洗浄液によって洗浄する飛散防止カップ4の洗浄方法において、洗浄液Sとしてアルカリ性の現像液を供給する。酸性かつ水溶性である反射防止膜剤Cは、中和反応によって溶解が促進されて容易に除去される。

請求項（抜粋）：

回転支持手段によって支持された基板に対して塗布液供給手段から酸性の水溶性塗布液を供給した際に、前記回転支持手段の周囲に配設されている飛散防止カップに付着した前記水溶性塗布液の飛沫を洗浄液により洗浄する飛散防止カップの洗浄方法において、前記洗浄液をアルカリ性水溶液としたことを特徴とする飛散防止カップの洗浄方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/304 341

FI (6件)：

H01L 21/30 564 D ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 A ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/304 341 Z ,  H01L 21/30 564 C