特許

J-GLOBAL ID：200903013296407364

感光性組成物

発明者： 近藤 俊一 ,  梅原 明 ,  青谷 能昌 ,  山岡 亜夫
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-259433
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100429
出願日： 1991年10月07日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【構成】 (a) 一般式(I)又は(II)で示されるビニルエーテル化合物と(b) 活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物と(c) アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。R1-[-O-(R3-O) n -CH=CH2]m (I) R2-[-CO-O-R3-O-CH=CH2]m (II) R1 及びR2 は多価アルコール残基又は多価フェノール残基、R3 は炭素数1〜10の直鎖又は分枝のアルキレン基を示し、nは0又は1、mは2〜6の整数を示す。【効果】 広範囲の波長光に対して高感度である。

請求項（抜粋）：

(a) 一般式(I)又は(II)で示されるビニルエーテル化合物と(b) 活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物と(c) アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。R1-[-O-(R3-O) n -CH=CH2]m (I) R2-[-CO-O-R3-O-CH=CH2]m (II) R1 及びR2 は多価アルコール残基又は多価フェノール残基、R3 は炭素数1〜10の直鎖又は分枝のアルキレン基を示し、nは0又は1、mは2〜6の整数を示す。

IPC (3件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-330445