特許
J-GLOBAL ID：200903013303848681
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-233819
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082378
出願日： 1992年09月01日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 本来のパターンの密集度や形状等の条件によらずに、欠陥のみを検出する。【構成】 受光レンズ24の被検査物19に対するフーリエ変換面の近傍に開口25が形成された遮光板26を配置し、開口25を通過した光をレンズ32で受光器33の受光面に集光(結像)する。駆動部28で遮光板26を回転して被検査物19からの光のフーリエ変換パターンと開口25との相対位置を変化させて、受光器33の光電変換信号が最小になる所で欠陥検出を行う。
請求項（抜粋）：
被検物に検査用の光を照射する光照射手段と、前記被検物からの光を集光する集光光学系と、該集光された光を光電変換する受光手段とを有し、該受光手段の出力信号に基づいて前記被検物の欠陥を検査する装置において、前記集光光学系の前記被検物に対するフーリエ変換面の近傍に配置され前記被検物からの光のフーリエ変換パターンの一部のみに対応する光を前記受光手段側に通過させる開口手段と、前記被検物からの光のフーリエ変換パターンと前記開口手段との相対位置を変化させる相対位置可変手段とを設け、前記受光手段からの前記開口手段を通過した光に対応する光電信号の最小値に基づいて前記欠陥を検査する事を特徴とする欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G03F 1/08
, H01L 21/027
