特許

J-GLOBAL ID：200903013306758730

バブリング容器

発明者： 風間 洋一郎 ,  毛利 昌宏 ,  石川 誠 ,  内山 太郎 ,  鈴木 新平 ,  谷口 和雄
出願人/特許権者： 日立金属株式会社 ,  株式会社日立製作所 ,  日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 櫛渕 昌之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-113701
公開番号（公開出願番号）：特開平6-306613
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：

【要約】【目的】 バブリング法による気化装置に用いられるバブリング容器において、容器内の温度分布を一様にすると共に、バブリング開始時や停止時の温度変化に対する応答性を向上させる。【構成】 バブリング容器1は、ステンレス鋼のような耐食性金属の内容器21と、銅のような熱良導性金属の外容器23とからなる2重構造を持つ。外容器23の底面には加熱及び冷却機能を持つ発熱冷却器27が取り付けられる。更にその外周はグラスウールのような断熱材の層25で包囲される。

請求項（抜粋）：

バブリング法による気化装置に用いられる容器において、この容器に収容される液材に対する耐食性をもつ材料より成る内側部分と、この内側部分の外側に、前記容器の実質的全体に亘って配置された熱良導性材料より成る導熱部分とを有するバブリング容器。