特許
J-GLOBAL ID：200903013308657752
ダイシングシート吸着治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-316006
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163133
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 特に半導体装置組み立てのダイボンド装置で使用されるダイシングシート吸着治具に於て、その凹凸の発生を防止し、確実な吸着保持を行なわせて半導体チップの画像認識を安定させる。【解決手段】 ダイシングシート106への吸着部3を、例えばセラミックなどの多孔質で平坦に形成する。多孔質なので、ダイシングシート吸着治具1の内側から真空吸引すれば、表面に均等に分散している個々の微細な孔から周辺の空気が吸い込まれ、ダイシングシートが吸着される。表面が平坦なので、強く吸引されても従来のようにシートが吸着用溝103に落ち込むこともなく、凹凸を生ずる虞れがない。
請求項（抜粋）：
ダイシングした半導体チップが載置されているダイシングシートを下面から吸引固定するダイシングシート吸着治具に於て、前記ダイシングシートへの吸着部が多孔質の素材により平坦に形成されていることを特徴とするダイシングシート吸着治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 Y
, H01L 21/68 N
