特許
J-GLOBAL ID：200903013311909096
液晶デイスプレイ基板の検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-302488
公開番号（公開出願番号）：特開平5-113462
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【目的】 LCD基板のパッドにプロービング基板を高い位置精度で接触させて、精度の高い検査を行うこと。【構成】 プロ-ビング基板本体41の下部を弾力性部材44例えばエストラマにより構成し、パッドの全てに夫々接触される接子43を配線フィルム42を介して配列してプロービング基板4を構成し、このプロービング基板4を、固定プレート32に対してθ方向に回転されるθプレート31に取り付けると共に、θプレート31の下方側にX、Y方向移動用のXガイド部34及びYガイド部35をベースプレート2に固定して設ける。プロービング基板4の外側面から配線フィルム42に接続された信号線Sを引き出してテスタに接続し、プロービング基板4をX、Y、θ方向について微調整した後LCD基板の全てのパッドに対して接子43を一括して接触させる。
請求項（抜粋）：
液晶ディスプレイ基板の電極パッドにプロービング基板を接触させて、液晶ディスプレイ基板の検査を行う装置において、液晶ディスプレイ基板の複数の電極パッドに対して一括して接触されるように、該複数の電極パッドに対応した接子を弾力性部材に設置してなる1個のプロービング基板と、液晶ディスプレイ基板に対する前記プロービング基板の位置を調整するための位置調整機構と、を備えてなることを特徴とする液晶ディスプレイ基板の検査装置。
IPC (3件)：
G01R 31/02
, G01R 1/073
, G02F 1/1343
