特許
J-GLOBAL ID:200903013316259715

イオン窒化〜セラミツクスコーテイング連続処理方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青木 秀實
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-334426
公開番号(公開出願番号):特開平5-098422
出願日: 1991年11月22日
公開日(公表日): 1993年04月20日
要約:
【要約】【目的】 従来、鉄鋼やステンレススチール等の鉄系合金基材に、予め前記基材に窒化処理を行った後セラミックスコーティングをする際、直流印加によって真空容器中の窒素ガスをイオン化して加熱されている被処理物に窒素イオンを衝突させて表面を窒化させた後、直ちにセラミックスコーティングを行うと、窒化により被処理物表面に脆化物も生じるので、良質のセラミックスコーティングはできなかった。本発明はこれを改善して良質のセラミックスコーティング材を得ようとするものである。【構成】 真空容器内で高周波電源を用いてプラズマを発生させて発生した窒素イオンを被処理物に衝突させて硬化層を作り、そのまま直ちにセラミックスコーティング工程に入る。
請求項(抜粋):
鉄鋼やステンレススチール等の鉄系合金基材に、該基材表面に脆化層を生じない硬化層を形成するイオン窒化処理と、該硬化層を被覆するセラミックス被膜を形成するセラミックスコーティングを該イオン窒化に引き続き連続して処理する事を特徴とするイオン窒化〜セラミックスコーティング連続処理方法。
IPC (5件):
C23C 14/06 ,  C23C 8/38 ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/30 ,  C23C 28/04
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開昭62-103368
  • 特開昭62-103368
  • 特公昭59-037346
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