特許

J-GLOBAL ID：200903013318933081

ポジ型感光性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法

発明者： 安藤 雅之 ,  池上 圭 ,  坂寄 勝哉
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 光来出 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-365171
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183834
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 ポリイミド前駆体ではなく、すでに閉環しているが、溶媒可溶のポリイミドを用いた、保存安定性、プロセス適性に優れたポジ型感光性ポリイミドを提供する。【解決手段】 下記一般式(1)【化1】(Xは、四価の有機基、R1 は二価、三価又は四価のジアミンであり且つ、骨格中にスルホン酸基及び/又はスルフィン酸基を樹脂全体の重量の1〜30%含有し、nは3〜800の整数を示す。)で表されるポリイミドと、露光によりアルカリ溶液に可溶となる成分を有する化合物を含み、且つ、アルカリ水溶液、又はアルカリ水溶液と有機溶媒の混合液で現像可能であるポジ型感光性ポリイミドである。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)【化1】(Xは、四価の有機基、R1 は二価、三価又は四価のジアミンであり且つ、骨格中にスルホン酸基及び/又はスルフィン酸基を樹脂全体の重量の1〜30%含有し、nは3〜800の整数を示す。)で表されるポリイミドと、露光によりアルカリ水溶液に可溶となる成分を有する化合物を含み、且つ、アルカリ水溶液、又はアルカリ水溶液と有機溶媒の混合液で現像可能であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (8件)：

2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB42 ,  2H025CB55 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平3-209478
  
• ジ置換芳香族二無水物及びそれから製造されたポリイミド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-018497   出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシヤフト