表面弾性波装置及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-016852
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213874
出願日： 1995年02月03日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】電子機器に用いられる表面弾性波装置において、小型で製造コストが安く、電気的特性を安定化することを目的とする。【構成】表面にインターディジタルトランスデューサ電極3と取り出し電極4と陽極接合部5とを有する表面弾性波素子1と、取り出し電極4と一致する位置に形設した貫通孔9に設けた外部電極10を有するカバー基板6を備え、取り出し電極4と外部電極10を接続し、かつカバー基板6と陽極接合部5とを接合して封止した。

請求項（抜粋）：

表面に表面弾性波を励振・受信するインターディジタルトランスデューサ電極と取り出し電極とその周囲全体に配設したアルミニウムを主成分とする膜よりなる陽極接合部とを有する表面弾性波素子と、前記表面弾性波素子の取り出し電極と一致する位置に形設した貫通孔に設けた外部電極と印刷電極を有し、かつ前記表面弾性波素子と対向する面に空隙部を形設した絶縁性のカバー基板を備え、前記取り出し電極と前記外部電極を電気的に接合し、かつ、前記カバー基板と前記陽極接合部を接合して封止したことを特徴とする表面弾性波装置。

IPC (3件)：

H03H 9/25 , H03H 3/08 , H03H 9/145

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-293311
弾性表面波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-281781 出願人：セイコーエプソン株式会社
水晶部品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-090601 出願人：シチズン時計株式会社

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