特許
J-GLOBAL ID：200903013324682554
走査型静電容量顕微鏡および静電容量測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-101665
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293137
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 静電容量を測定するための高周波の周波数設定を、共振部の共振特性に対応して行うことを容易にする。【解決手段】 試料5と探針520との間の静電容量が、その周波数特性に反映される共振部204に、発振部210により高周波信号を印可し、出力される信号の強度を、測定部211により測定し、上記発振部210により印可した高周波信号の周波数と、上記測定された信号の強度とを対応させて、情報処理装置100により表示する。
請求項（抜粋）：
試料に対して直流的に絶縁された状態で支持される探針と、上記探針を、上記試料上を走査させるための移動機構と、高周波を発振するための発振回路と、上記探針および試料の間の静電容量が、その周波数特性に反映される共振回路と、上記発振回路で発振され、上記共振回路を通過する高周波を検波するための検波回路と、上記検波回路からの検波出力の大きさが、上記発振回路の発振周波数に対してプロットされたグラフを作成するための情報処理装置とを有することを特徴とする走査型静電容量顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 H
, G01R 27/26 C
