特許

J-GLOBAL ID：200903013332111159

ワークエッジの研磨方法及び装置

発明者： 箱 守 駿 二
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-285988
公開番号（公開出願番号）：特開平11-104942
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】【課題】 ワークエッジの粗研磨と仕上げ研磨とを無駄なく且つ効率良く行うための研磨手段を得る。【解決手段】 固定砥粒を担持させた粗研磨用の第1作業面5と研磨パッドからなる仕上げ研磨用の第2作業面6とを軸方向の両側に有する研磨ドラム2を使用し、ワーク保持手段3a,3bに保持させたワーク1の外周エッジを、上記研磨ドラム2の第1作業面5に押し付けて粗研磨したあと、第2作業面6に押し付けて仕上げ研磨する。

請求項（抜粋）：

粗研磨用の第1作業面と仕上げ研磨用の第2作業面とを軸線方向両側に有する研磨ドラムを使用し、この研磨ドラムを軸線の回りに回転させながら、回転するワークの外周エッジを上記第1作業面に接触させて粗研磨したあと、第2作業面に接触させて仕上げ研磨することを特徴とするワークエッジの研磨方法。

IPC (3件)：

B24B 9/00 601 ,  H01L 21/304 301 ,  H01L 21/304 321

FI (3件)：

B24B 9/00 601 H ,  H01L 21/304 301 B ,  H01L 21/304 321 Z