特許
J-GLOBAL ID：200903013343478550

透明導電膜付ガスバリア性フィルムの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法

発明者：
福田 和浩

福田 和浩 について

, 
有田 浩了

有田 浩了 について


出願人/特許権者：
コニカミノルタホールディングス株式会社

コニカミノルタホールディングス株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-202682
公開番号（公開出願番号）：特開2007-023304
出願日： 2005年07月12日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】透明導電膜の有する内部応力を低減し、バリア層へのダメージを抑制し、高い導電性と透明性、更には高いガスバリア性を維持できる透明導電膜付ガスバリア性フィルムの製造方法と、それを用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供する。【解決手段】透明樹脂フィルム上に少なくとも1層以上のセラミック膜を有する透明ガスバリア性フィルム上へ透明導電膜を真空製膜法により製膜する際、該製膜時の圧力が0.5〜2.0Paであることを特徴とする透明導電膜付ガスバリア性フィルムの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
透明樹脂フィルムの上に少なくとも1層以上のセラミック膜を有する透明ガスバリア性フィルム上へ透明導電膜を真空製膜法により製膜する際、該製膜時の圧力が0.5〜2.0Paであることを特徴とする透明導電膜付ガスバリア性フィルムの製造方法。
IPC (12件)：
C23C 14/08 ,  H01B 13/00 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/35 ,  C23C 14/32 ,  B32B 7/02 ,  B32B 18/00 ,  B32B 9/00 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/02 ,  B32B 15/08
FI (14件)：
C23C14/08 D ,  H01B13/00 503B ,  C23C14/08 K ,  C23C14/08 C ,  C23C14/34 D ,  C23C14/35 Z ,  C23C14/32 Z ,  B32B7/02 104 ,  B32B18/00 C ,  B32B9/00 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/02 ,  B32B15/08 E
Fターム (95件)：
3K007AB13 ,  3K007AB18 ,  3K007BA07 ,  3K007CA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4F100AA33 ,  4F100AB01E ,  4F100AB33E ,  4F100AD00B ,  4F100AD00C ,  4F100AD00D ,  4F100AD00E ,  4F100AH06 ,  4F100AK01A ,  4F100AK42 ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100BA10D ,  4F100BA10E ,  4F100BA13 ,  4F100EH66 ,  4F100EH662 ,  4F100EJ17 ,  4F100EJ172 ,  4F100EJ58 ,  4F100EJ582 ,  4F100EJ59 ,  4F100EJ592 ,  4F100EJ60 ,  4F100EJ602 ,  4F100EJ61 ,  4F100EJ612 ,  4F100GB23 ,  4F100GB41 ,  4F100GB66 ,  4F100JD02 ,  4F100JD02B ,  4F100JD02C ,  4F100JD02D ,  4F100JD02E ,  4F100JD03A ,  4F100JD03B ,  4F100JD03C ,  4F100JD03D ,  4F100JD03E ,  4F100JD04A ,  4F100JD04B ,  4F100JD04C ,  4F100JD04D ,  4F100JD04E ,  4F100JG01 ,  4F100JG01E ,  4F100JM02B ,  4F100JM02C ,  4F100JM02D ,  4F100JM02E ,  4F100JN01 ,  4F100JN01A ,  4F100JN01B ,  4F100JN01C ,  4F100JN01D ,  4F100JN01E ,  4F100JN13E ,  4F100JN28E ,  4F100JN30E ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4F100YY00D ,  4F100YY00E ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA45 ,  4K029BA47 ,  4K029BA49 ,  4K029BA50 ,  4K029BB01 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA04 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC32 ,  4K029DC39 ,  5G323BA02 ,  5G323BB04 ,  5G323BB05
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 特開平2-251429号公報 (実施例)
  • 有機EL素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-270552   出願人：出光興産株式会社
  • 特公昭53-12953号公報 (実施例)
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