特許
J-GLOBAL ID:200903013349784300

光計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山田 正紀 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-000343
公開番号(公開出願番号):特開平11-194088
出願日: 1998年01月05日
公開日(公表日): 1999年07月21日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、受光器を保護しつつ、光ビームによって被測定体の全体を走査することができる光計測装置を提供することを目的とする。【解決手段】 光計測装置1には、2つのマーカビーム用光源141,142と、2つのマーカビーム用受光器151,152と、シャッタ160が備えられており、2つのマーカビーム用光源141,142から出射されたマーカビーム181,182が2つのマーカビーム用受光器151,152によって受光されることにより、マーカビーム181,182が被測定体80の縁を外れたタイミングが検出され、そのタイミングに基づいてシャッタ160が測定光ビーム61を遮断する。
請求項(抜粋):
被測定体が配置される被測定体配置部に配置された被測定体に測定光ビームを照射し該測定体を該測定光ビームに対し相対的に移動させることにより、該被測定体を該測定光ビームで所定の走査方向に走査し、該被測定体を透過した光を測定光受光器で受光することにより受光信号を得、該受光信号に基づいて該被測定体に関する量を計測する光計測装置において、前記被測定体配置部において前記測定光ビームと平行であって前記走査方向に所定距離偏倚した光路を有し前記被測定体配置部に配置された被測定体の、前記測定光ビームにより走査される走査点を該測定光ビームに先行して走査するマーカビームを出射するマーカビーム用光源と、前記被測定体配置部を通過したマーカビームを受光するマーカビーム受光器を有し、該マーカビーム受光器による受光信号に基づいて該マーカビームが前記被測定体配置部に配置された被測定体の縁から外れたタイミングを検知するタイミング検知手段と、前記測定光ビームの前記測定光受光器への直接入射による該測定光受光器の不良の発生を回避する受光器保護手段と、前記マーカビームの、前記測定光ビームからの偏倚距離と、前記タイミング検知手段で検知されたタイミング以降の走査距離とに基づいて、前記測定光ビームの、前記測定光受光器への直接入射を避けるタイミングで前記受光器保護手段を前記測定光受光器に作用させる制御手段とを備えたことを特徴とする光計測装置。

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