特許
J-GLOBAL ID：200903013351874147
集積回路の試験方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 将高
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-268704
公開番号（公開出願番号）：特開平5-080083
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】 被測定集積回路の電気信号により生じる電界により複屈折率が変化する電気光学材料にレーザ光を照射し、電気光学材料の複屈折率の変化を検出して、被測定集積回路の試験を行うのに、短時間で終了させる。【構成】 レーザ1からのレーザパルス光2を対物レンズ6,電気光学材料7を介して被測定集積回路8に2次元的に照射し、被測定集積回路8の各ノードで発生する電界により、電気光学材料7のその部分の屈折率が変化し、2次元的に照射したレーザ光の各ノードにおける光強度の変化として光検出器アレイ12で検出し、被測定集積回路8の試験を行う。
請求項（抜粋）：
被測定集積回路の電気信号により生じる電界により複屈折率が変化する電気光学材料にレーザ光を照射し、前記電気光学材料の複屈折率の変化を該レーザ光の偏光変化に置換え、この偏光変化をレーザ光の強度変化として検出することにより、前記被測定集積回路の試験をする方法において、前記電気光学材料にレーザ光を所定の広さで照射し、前記被測定集積回路内の複数のノードの電気信号により生じる前記レーザ光の光強度の光束断面分布の変化を検出し、これら複数のノードの電気信号を同時に測定することを特徴とする集積回路の試験方法。
IPC (3件)：
G01R 19/00
, G01R 31/302
, H01L 21/66
