特許
J-GLOBAL ID：200903013351960388
密閉コンテナのガスパージ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-202660
公開番号（公開出願番号）：特開平6-048508
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：
【要約】【目的】 真空引きしたのちに不活性ガスでガスパージする場合に、コンテナを特殊構造にする必要のない密閉コンテナのガスパージ方法を提供することを目的とする。【構成】 可搬式密閉コンテナ内1を真空引きしたのち不活性ガスでガスパージする場合において、配管を通して真空源80と不活性ガス源90に連絡される密閉ボックス内を壁80Aで本体部Aと当該本体部とは連通孔81を通して連通するコンテナ収納部Bとに区画し、上記壁上に上記密閉コンテナを載置し、密閉コンテナの底蓋20を上記密閉ボックス内へ開くことにより当該密閉コンテナ内を前記密閉ボックスの本体部内に連通して真空引きおよび不活性ガスによるガスパージを行なうことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電子機器の基板等を収納して搬送する可搬式密閉コンテナ内を真空引きしたのちコンテナ収納物にとって不活性なガスでガスパージする場合において、配管を通して真空源と不活性ガス源に連絡される密閉ボックス内を壁で本体部と当該本体部とは連通孔を通して連通するコンテナ収納部とに区画し、上記壁上に上記密閉コンテナを載置し、密閉コンテナの底蓋を上記密閉ボックス内へ開くことにより当該密閉コンテナ内を前記密閉ボックスの本体内に連通して真空引きおよび不活性ガスによるガスパージを行なうことを特徴とする密閉コンテナのガスパージ方法。
IPC (2件)：
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