特許
J-GLOBAL ID：200903013352453897
ヘツド部駆動機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-301969
公開番号（公開出願番号）：特開平5-138556
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 チップ部品を基板上に装着するヘッド部を載置した支持体の左右端を一対の独立した駆動源によりY方向に駆動するためのヘッド部駆動機構において、該駆動源の作動特性により発生する振動を確実に吸収して該ヘッド部を常に円滑に動作させると共に、支持体の移動量を予め左右において異なるように設定することによりヘッド部によってチップ搭載時基板の傾きを補償する。【構成】 Y方向駆動機構を、支持体の両端部を独立して駆動する一対の駆動源と、該一対の駆動源によってY方向に伸長しているレール上をそれぞれ移動する一対の受台と、前記支持体の両端にそれぞれ取り付けられている受座と、少なくとも一方の受座を支承しているリンクと、で構成し、受座とリンク又は受台とをピボット軸によって枢着し、かつ前記リンクを受台に対して運動可能とした。
請求項（抜粋）：
ヘッド部をX方向に駆動するX方向駆動機構と、ヘッド部をX方向と直交するY方向に駆動するY方向駆動機構と、を備えて成るヘッド部駆動機構であって、X方向駆動機構が、ヘッド部20を支承する支持体22と、ヘッド部20を該支持体22の長手方向に沿って駆動するモータ25と、から成り、Y方向駆動機構が、前記支持体22の両端部を独立して駆動する一対の駆動源と、該一対の駆動源によってY方向に伸長しているレール26、27上をそれぞれ移動する一対の受台23、24と、前記支持体22の両端にそれぞれ取り付けられている受座30、32と、少なくとも一方の受座30を支承しているリンク31と、から成り、受座30、32とリンク31又は受台24とがピボット軸33、34によって枢着され、かつ前記リンク31が受台23に対して運動可能となっていることを特徴とするヘッド部駆動機構。
IPC (4件)：
B25J 5/02
, B23Q 7/14
, B65G 47/91
, H01L 21/70
