特許
J-GLOBAL ID：200903013367332891
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-183534
公開番号（公開出願番号）：特開2004-349664
出願日： 2003年05月23日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：
【課題】安価でしかも、十分な冷却性能とパーティクル発生低減を保証できる静電チャックとその製造方法を提供し、また同時に、静電チャックを再生使用可能のとすることにより運用コスト低減と資源リサイクルを実現する。【解決手段】静電チャックは二径路の媒体を流すことができる金属性基盤を母体とし、この上部表面層に溶射による吸着電極形成と、吸着電極形成後に、溶射により絶縁誘電体をその上面、金属基盤側面に一体形成する。金属性基盤は吸着効果の均一性を計るため、平坦度を保証した、二つの基本部材から構成する。冷却媒体を金属性基盤から絶縁誘電体面上部に貫通させる多数の孔の加工は、媒体が流れる径路の一部に絶縁物でできた板を充填し、前述の溶射による絶縁誘電体形成の後に行うことで、加工時の塵などの異物が冷媒の径路に残らないようにする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
金属性基盤の上部に絶縁誘電体を有し、前記絶縁誘電体層の内部に設置された吸着電極により、処理ウエハを吸着する静電チャックにおいて、前記金属基板に少なくとも二種類の媒体を流すための二以上の複数の径路を具備し、係る径路のうち一つは前記金属基板内を循環し、前記媒体を前記金属基板同一面から入力、そして出力し、係る径路の他の一つは前記金属基板を通過し、前記媒体の入力する面から対抗する面に出力せしめ、さらに前記金属基板の上部に位置する前記絶縁誘電体を貫通して、前記処理ウエハとの吸着面から出力させることを特徴とする、静電チャック。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA17
, 5F031HA38
, 5F031MA28
, 5F031MA32
, 5F031PA26
, 5F031PA30
