特許
J-GLOBAL ID：200903013367385049
ペリクル
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮本 治彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-297596
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107678
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：
【要約】【課題】ペリクル内部への塵埃等の侵入を防止または抑制でき、ペリクル内外の圧力差を緩和し得ると共に、短時間でペリクル内の気体の置換が可能で、さらには耐光性に優れるペリクルを提供する。【解決手段】ペリクル枠21を内側部材21bと外側部材21aとに分割し、内側部材21bを耐光性に優れる自然発色アルマイト化アルミニウムまたはセラミックで構成し、外側部材21aを耐力の大きいアルミニウム合金7075-T6で構成する。ペリクル枠21の内部にそれぞれ3箇所の屈曲部を有する2つの通気孔32-27b-30、29b-27a-34を設け、通気孔32-27b-30、29b-27a-34の内表面にダストを吸着するための粘着層を設ける。
請求項（抜粋）：
枠体と、該枠体の一つの面に張架されたペリクル膜とを有するペリクルであって、前記枠体の少なくとも内側表面が自然発色アルマイト化アルミニウム又はセラミックであり、かつ、前記ペリクルの内部と外部とを連通し屈曲部を有すると共に内表面が粘着性を有する複数の通気孔が設けられていることを特徴とするペリクル。
IPC (3件)：
G03F 1/14
, G03F 7/20 502
, H01L 21/027
G03F 1/14 J
, G03F 1/14 K
, G03F 7/20 502
, H01L 21/30 502 P
2H095BC37
, 2H095BC38
, 2H097CA13
, 2H097LA10
