特許

J-GLOBAL ID：200903013370427208

水晶ウェーハの加工方法

発明者： 小見 忠雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-314312
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157088
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 そりのない良好な状態の水晶ウェーハを得ることができ、従来に比べてデバイス歩留まりの向上を図ることのできる水晶ウェーハの加工方法を提供する。【解決手段】 そりの生じた水晶ウェーハを、フッ酸とフッ化アンモニウムとを含む混合溶液を使用してエッチングすることによって、当該水晶ウェーハのそりを修正する。

請求項（抜粋）：

所望形状の水晶ウェーハを形成する水晶ウェーハの加工方法であって、フッ酸とフッ化アンモニウムとを含む溶液を使用して前記水晶ウェーハをエッチングし、当該水晶ウェーハのそりを修正する工程を具備したことを特徴とする水晶ウェーハの加工方法。

IPC (6件)：

C30B 29/18 ,  C30B 33/10 ,  H01L 21/308 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/08

FI (6件)：

C30B 29/18 ,  C30B 33/10 ,  H01L 21/308 E ,  H03H 3/08 ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/22 Z