絶縁膜用コーティングワニス及び絶縁膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-128443
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311044
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】半導体用途において、熱特性、電気特性、物理特性及び機械特性のすべてに優れ、特に、誘電率の極めて低い耐熱性の絶縁膜を提供する。【解決手段】(1)一般式(A)で表わされる繰り返し単位を有する、ポリベンゾオキサゾール前駆体の1種または2種以上、(2)熱分解温度が、200°C〜400°Cの有機化合物、および、(3)上記(1)及び(2)を同時に溶解もしくは分散する事が可能な有機溶媒、からなるコーティング用ワニスを調製し、フィルム化する (一般式(A)中、nは0〜1000の整数、R1〜R4は、Hまたは一価の有機基で、Xは式(B)、Yは式(C)、およびZ1,Z2は式(D)で表される構造より、それぞれ選ばれる基を示す。)【化1】

請求項（抜粋）：

(1)一般式(A)で表わされる繰り返し単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体の1種または2種以上、(2)熱分解温度が、200°C〜400°Cの有機化合物、および、(3)上記(1)及び(2)を同時に溶解もしくは分散する事が可能な有機溶媒、からなることを特徴とする、絶縁膜を作製する事が可能なコーティング用ワニス。【化1】式(A)中、nは0〜1000の整数を示す。R1〜R4は、Hまたは一価の有機基で、Xは式(B)、Yは式(C)、およびZ1,Z2は式(D)で表される構造より、それぞれ選ばれる基を示す。【化2】【化3】式中、X1は式(E)で表される構造より選ばれる基を示し、これらの構造中、ベンゼン環上の水素原子は、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、フッ素原子、トリフルオロメチル基、およびトリフルオロエチル基からなる群から選ばれる、少なくとも1個の基で置換されていてもよい。【化4】【化5】

IPC (8件)：

C09D179/04 , C08G 73/22 , C09D125/08 , C09D133/12 , C09D171/02 , H01L 21/312 , H01L 23/29 , H01L 23/31

FI (9件)：

C09D179/04 , C08G 73/22 , C09D125/08 , C09D133/12 , C09D171/02 , H01L 21/312 A , H01L 21/312 D , H01L 23/30 R , H01L 23/30 D

Fターム (112件)：

4J038CC082 , 4J038CG142 , 4J038DF012 , 4J038DJ001 , 4J038JA27 , 4J038JA57 , 4J038JA61 , 4J038JB14 , 4J038JB27 , 4J038JC11 , 4J038KA06 , 4J038LA03 , 4J038MA06 , 4J038MA09 , 4J038NA11 , 4J038NA14 , 4J038NA21 , 4J038PA18 , 4J038PA19 , 4J038PB09 , 4J038PC08 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PA19 , 4J043PB05 , 4J043QB15 , 4J043QB23 , 4J043QB34 , 4J043RA52 , 4J043SA06 , 4J043SA43 , 4J043SA54 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA11 , 4J043TA12 , 4J043TA47 , 4J043TA66 , 4J043TA67 , 4J043TA71 , 4J043TA72 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA032 , 4J043UA042 , 4J043UA052 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA151 , 4J043UA221 , 4J043UA231 , 4J043UA262 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA031 , 4J043VA042 , 4J043VA051 , 4J043VA052 , 4J043VA082 , 4J043WA01 , 4J043WA05 , 4J043WA13 , 4J043WA16 , 4J043WA22 , 4J043WA25 , 4J043WA29 , 4J043XA15 , 4J043XA16 , 4J043XA19 , 4J043YA06 , 4J043YB06 , 4J043YB08 , 4J043YB18 , 4J043YB19 , 4J043YB24 , 4J043YB31 , 4J043YB32 , 4J043ZA46 , 4J043ZB03 , 4J043ZB11 , 4J043ZB22 , 4J043ZB23 , 4J043ZB50 , 4M109AA01 , 4M109CA10 , 4M109EC01 , 4M109EC05 , 4M109EC07 , 5F058AA10 , 5F058AC07 , 5F058AC10 , 5F058AF04 , 5F058AF06 , 5F058AG01 , 5F058AH02 , 5F058AH03 , 5F058AH10

前のページに戻る