特許

J-GLOBAL ID：200903013390652186

真空チャック

発明者： 山岸 正男
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-136062
公開番号（公開出願番号）：特開平5-301137
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】 反りのある薄板体であっても完全にを吸着面に密着させた状態で真空吸着することができる真空チャックを提供する。【構成】 複数個の吸着孔13が形成された吸着面12と、各吸着孔13の下方に連通して形成されたチャンバー14と、各チャンバー14の下方に連通して形成された排気孔15と、チャンバー14内に上下動可能に設けられ且つバネ部材20により吸着孔13側に付勢された弁19とを有し、吸着孔13を通して流入する外気の押圧力によって弁19の下端部が排気孔15の上側開口部を閉塞する真空チャックであって、弁19の下端部若しくは排気孔15の上側開口部に、排気孔15の上側開口部が閉塞された状態でチャンバー14と排気孔15とを僅かに連通させるリーク孔21を形成した。

請求項（抜粋）：

複数個の吸着孔が形成された吸着面と、前記各吸着孔の下方に連通して形成されたチャンバーと、前記各チャンバーの下方に連通して形成された排気孔と、前記チャンバー内に上下動可能に設けられ且つバネ部材により前記吸着孔側に付勢された弁とを有し、前記吸着孔を通して流入する外気の押圧力によって前記弁の下端部が前記排気孔の上側開口部を閉塞する真空チャックであって、前記弁の下端部若しくは前記排気孔の上側開口部に、前記排気孔の上側開口部が閉塞された状態で前記チャンバーと前記排気孔とを僅かに連通させるリーク孔を形成したことを特徴とする真空チャック。

IPC (3件)：

B23Q 3/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 301 Z ,  H01L 21/30 301 C