特許
J-GLOBAL ID：200903013391482454
電磁波検出装置及び基板加工装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-029476
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239310
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 強度比が大きい複数の電磁波を測定する際に微弱な電磁波をも検出できる電磁波検出装置を得ると共に、また、基板加工プロセス中における組成の変化を測定できる機能を有する基板加工装置を得る。【構成】 試料1Cから発生する特性X線の内、強度の強い元素からの特性X線7aを選択的に透過させて減衰させると共に強度の弱い元素からの特性X線7bを選択的に反射させる光学素子としての全反射ミラー31と、特性X線7aの強度を調整する強度調整機構としてのスリット32と、上記全反射ミラー31により反射された特性X線7bと上記スリット32により強度が調整された特性X線7aとを同一の半導体X線検出器6で検出するようにして、試料1C中の元素が発生する強度比が大きい特性X線を測定する際に微弱な電磁波をも検出可能にする。
請求項（抜粋）：
試料中の元素が発生する複数の波長の電磁波を検出する検出器を有する電磁波検出装置において、上記試料と上記検出器との間に設置されて上記試料から発生する複数の波長の電磁波の内少なくとも1つ以上の波長を選択的に反射または透過する光学素子と、上記試料と上記検出器との間に設置されて電磁波の強度を調整する強度調整機構とを備え、上記光学素子により反射または透過された電磁波と上記強度調整機構により強度が調整された電磁波を上記検出器で検出することを特徴とする電磁波検出装置。
引用特許：
前のページに戻る
