特許

J-GLOBAL ID：200903013395487795

表面検査装置

発明者： 伊藤 一朋
出願人/特許権者： エヌオーケー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211173
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033228
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】被検査体を形成する材料や被検査面の形状に起因する被検査面上での照度ムラを抑制でき、撮像した画像データを画像処理する際に、被検査面に存在する欠陥の認識精度を向上させることができる表面検査装置を提供する。【解決手段】湾曲した被検査面を有する被検査体としてのOリング51の欠陥検査を行う表面検査装置1であって、Oリング51のシール面51aに向けて照明光を照射する照明手段としての照明装置31と、照明光を透過し、かつ拡散させる拡散板2と、Oリング51のシール面51aを撮像する撮像手段としてのCCDカメラ21、22、23と、CCDカメラによって撮像された画像データの各画素の受光量に基づいて、シール面51aに存在する欠陥を抽出する画像処理装置41とを有し、拡散板2は湾曲したシール面51aにおける照度分布を略均一にする形状を有する。

請求項（抜粋）：

湾曲した被検査面を有する被検査体の欠陥検査を行う表面検査装置であって、前記被検査体の被検査面に向けて照明光を照射する照明手段と、前記照明手段からの照明光を透過し、かつ拡散させる拡散板と、前記被検査体の被検査面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された画像データの各画素の受光量に基づいて、前記被検査面に存在する欠陥を抽出する画像処理手段と、を有し、前記拡散板は、前記湾曲した被検査面における照度分布を略均一にする形状を有する表面検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88

FI (2件)：

G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 Z

Fターム (28件)：

2F065AA49 ,  2F065BB05 ,  2F065CC00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065GG17 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ07 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL28 ,  2F065LL49 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB07 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051DA08 ,  2G051ED07