特許

J-GLOBAL ID：200903013399528011

ガス濃度測定方法およびその測定装置

発明者： 石橋 厚彦 ,  吉田 安夫 ,  内田 昌彦
出願人/特許権者： 東京電力株式会社 ,  日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295866
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148072
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 戻り光ノイズのようなガス信号を劣化させるような信号が重畳しても正確にガス濃度測定の行えるガス濃度測定方法及びその測定装置を提供することにある。【構成】 駆動電流及び温度に応じた波長及び強度のレーザ光を発振するレーザを用い、このレーザの駆動電流あるいは温度を変化させて、波長及び強度が変調されたレーザ光を発振させると共にそのレーザ光の中心波長を掃引させ、そのレーザ光を測定対象とするガス雰囲気中に通して得られる透過光の強度を検出し、この検出信号中の特定成分を位相敏感検波して、この検波信号から雰囲気圧力下での特定ガスの濃度を測定するガス濃度測定方法において、この検波信号から所定の値以上の高周波成分を除去してガス信号とし、このガス信号からガス雰囲気の圧力とガス濃度信号を測定し、このガス濃度信号を圧力補正してガスの濃度を測定することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

駆動電流及び温度に応じた波長及び強度のレーザ光を発振するレーザを用い、このレーザの駆動電流あるいは温度を変化させて、波長及び強度が変調されたレーザ光を発振させると共にそのレーザ光の中心波長を掃引させ、そのレーザ光を測定対象とするガス雰囲気中に通して得られる透過光の強度を検出し、この検出信号中の特定成分を位相敏感検波して、この検波信号から上記雰囲気圧力下での特定ガスの濃度を測定するガス濃度測定方法において、この検波信号から所定の値以上の高周波成分を除去してガス信号とし、このガス信号からガス雰囲気の圧力とガス濃度信号を測定し、このガス濃度信号を圧力補正してガスの濃度を測定することを特徴とするガス濃度測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/39 ,  G01N 21/35

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-277945
  
• 特表平3-505782
  
• 特開昭63-078053