特許

J-GLOBAL ID：200903013413623812

振動アクチュエータ駆動装置

発明者： 戸部 通宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-213900
公開番号（公開出願番号）：特開平11-164574
出願日： 1998年07月29日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 移動方向による速度差を調整することを可能にする。【解決手段】 弾性体11とその弾性体に接合された電気機械変換素子12とを備えた振動アクチュエータ10と、電気機械変換素子12に2相の交流電圧を印加して、複数の振動モードを調和的に発生させる駆動回路20と、を含む振動アクチュエータ駆動装置において、駆動回路20は、前記2相の交流電圧の位相差を調整する位相差調整回路26を備える。

請求項（抜粋）：

電気機械変換素子とその電気機械変換素子によって発生した振動により得られた駆動力を取り出すための駆動力取出部とを有し、前記駆動力によって前記駆動力取出部に接触した相対運動部材との間に少なくとも2方向の相対運動を発生させる振動アクチュエータと、前記電気機械変換素子に少なくとも2相の交流電圧を印加して、複数の振動モードを調和的に発生させる駆動回路と、前記交流電圧の波形を調整することにより、前記振動アクチュエータが第1又は第2の方向に移動するときの移動方向による駆動速度の差を一致又は異ならせて所望の状態に設定する波形調整回路と、を含む振動アクチュエータ駆動装置。