特許

J-GLOBAL ID：200903013413733057

冷却装置

発明者： 澤野 成民
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 山本 寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082296
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278400
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】 液体窒素に比べ安価な冷却媒体を使用して、試料等の冷却対象を容易に冷却できるようにする。【構成】 ノズル管10に連通して冷却チャンバ30を設置する。一方、クライオポンプ40における膨張室42の外表面に吸熱部48を形成し、この吸熱部48を冷却チャンバ30内に配置する。そして、冷却チャンバ30内に、例えば常温窒素ガスを冷却媒体として供給し、クライオポンプ40の吸熱部48で同窒素ガスの熱を吸収し、ノズル管10の先端から噴出させる。

請求項（抜粋）：

冷却媒体を先端開口部から噴出させるノズル管と、このノズル管の基端開口部に連通しかつ冷却媒体の供給口が開口した冷却チャンバと、冷媒ガスの循環する冷媒通路によって連通する圧縮室および膨張室を有するとともに、前記膨張室の外表面に吸熱部を形成した冷却手段とを備え、前記冷却手段の吸熱部を、前記冷却チャンバ内に配置したことを特徴とする冷却装置。