特許

J-GLOBAL ID：200903013414704522

電子部品の外観検査方法および外観検査装置

発明者： 大井 宗太郎
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-036120
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243655
出願日： 2001年02月13日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】 チップ部品の多種多様な不良を発見することを可能とする。【解決手段】 外観検査装置11を、チップ部品の外観画像を撮影するCCDカメラ19と、撮影された外観画像から外観不良の存否を判定する画像処理装置20とを備えた構成とした。そして、画像処理装置20を、外観画像を複数の検査領域に分割する領域分割手段と、あらかじめ検査領域ごとに設定しておいた検査基準値を記憶しておく検査基準値記憶手段と、各検査領域における画像データから判別パラメータを算出する判別パラメータ算出手段と、算出された判別パラメータに基づいて、外観不良の存否を判定する判定手段とを備えた構成とした。

請求項（抜粋）：

電子部品の外観不良を発見するための外観検査方法であって、前記電子部品の外観画像を撮影し、該外観画像を複数の検査領域に分割し、あらかじめ前記検査領域ごとに設定しておいた検査基準値と、前記各検査領域における画像データから算出される判別パラメータとを比較し、その結果に基づいて、前記外観不良の存否を判定することを特徴とする電子部品の外観検査方法。

IPC (5件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 7/00 200 ,  G06T 7/00 300

FI (5件)：

G01N 21/956 B ,  G01B 11/30 A ,  G06T 1/00 305 A ,  G06T 7/00 200 A ,  G06T 7/00 300 F

Fターム (86件)：

2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB13 ,  2F065BB24 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065DD09 ,  2F065DD13 ,  2F065FF04 ,  2F065FF21 ,  2F065GG17 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ32 ,  2F065RR02 ,  2F065RR05 ,  2F065RR06 ,  2F065SS04 ,  2F065TT02 ,  2F065UU05 ,  2G051AA61 ,  2G051AB07 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051CB03 ,  2G051DA13 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED04 ,  2G051ED12 ,  2G051ED15 ,  2G051ED22 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B057BA24 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC03 ,  5B057CD03 ,  5B057CE09 ,  5B057CE11 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC32 ,  5B057DC36 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096CA14 ,  5L096EA02 ,  5L096EA12 ,  5L096EA35 ,  5L096EA43 ,  5L096FA06 ,  5L096FA09 ,  5L096FA17 ,  5L096FA59 ,  5L096FA60 ,  5L096GA08 ,  5L096JA11